東京電子株式会社

デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

最終更新日: 2023-04-05 09:45:27.0
当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービスを行います。

分析アプリケーション例(蓄積法)

破壊分析
 ●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
 ●半導体ウェハ基板からのガス放出測定
 ●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定

非破壊分析
 ●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

基本情報

こんな評価におすすめです!

・プロセス評価
・デバイスの品質管理、品質解析
・分析装置導入前の評価、条件出し

受託分析サービスを是非ご活用ください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 破壊分析
 ●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
 ●半導体ウェハ基板からのガス放出測定
 ●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定

非破壊分析
 ●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

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