広帯域(1.33×10-7Pa)?(6.65Pa)の高真空領域までを
高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。
ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを
簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。
また、多様なインターフェースも標準装備しています。
【特長】
■広い測定範囲(1.33×10-7Pa)?(6.65Pa)
■簡単なセットアップ
■有機ELディスプレイにより高視認性
■16種類のガスに対応
■フィラメント2本を標準装備(断線を防ぐ保護機能付き)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】
■表示:デジタル表示(仮数部3桁、指数部2桁)
■フィラメント材質:イットリアコートイリジウム
■デガス:4W ボンバード方式
■ガス種設定:FIL ON/OFF、デガス ON/OFF、エミッション切替
■アナログ出力:0?9VDC(ログリニア):1V/1桁
■使用温湿度:0?40℃、?95%(結露なしで)
■ベーキング温度:200℃(回路部を取り外すこと)
■電源:DC20?28V 14W
■通信機能(規格):RS-485
■セットポイント:1点
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格情報 | 定価 198、000 |
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価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
納期 | ~ 1ヶ月 |
型番・ブランド名 | IG-10-ICF70 |
用途/実績例 | 【用途】 ■真空蒸着装置 ■光学薄膜生成装置 ■加速装置とUHV研究 ■電子デバイス製造装置 ■光電子工学のデバイス製造装置 など |
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