ウシオ電機株式会社

サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle

最終更新日: 2023-12-07 17:27:07.0
真空対応などの加工が可能!円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます!

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの
高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。

円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、
特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。

オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、
設置条件、特性に合わせて設計できます。

【特長】
■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ
■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる
■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能
■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【ラインアップ】
■QIR100V1000W/100C
■QIR200V1000W/150C
■QIR200V2000W/150C
■QIR200V3000W/200C

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に

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