ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

最終更新日: 2023-12-07 17:15:33.0
ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける
 金属膜、絶縁膜の形成に用いられる
 CVDやスパッタリング装置の熱源として最適
○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを
 用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

基本情報

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける
 金属膜、絶縁膜の形成に用いられる
 CVDやスパッタリング装置の熱源として最適
○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを
 用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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用途/実績例 【用途】
○CVD
○スパッタリング装置

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