ウシオ電機株式会社

光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

最終更新日: 2023-12-07 17:27:30.0
大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を
アニールする光応用加熱装置です。

UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの
光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。

焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に
お使いいただけます。

【特長】
■スペクトル
・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性
■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度)
・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、
 大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】
■深さコントロール(パルス制御)
・ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、
 ランプ電流、パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)
・複数パルスの照射も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■焼成
■剥離
■表面改質
■酸化膜形成
■結晶化
■接着

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