ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

最終更新日: 2023-12-07 17:16:19.0
ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ
○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い
 その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化
○クセノンフラッシュランプの特性を活かし
 ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して
 極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし
 不純物の拡散を防ぐことが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

基本情報

統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ
○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い
 その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化
○クセノンフラッシュランプの特性を活かし
 ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して
 極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし
 不純物の拡散を防ぐことが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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用途/実績例 【用途】
○シリコンウェハを注入した不純物の活性化

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