最終更新日:
2023-12-07 17:17:32.0
【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。
かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。
また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。
かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。
また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報 | - |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
ウシオ電機株式会社