ウシオ電機株式会社

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

最終更新日: 2023-12-07 17:20:09.0
ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源
太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は
 焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用
○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において
 長年実績を積んだ長尺ヒータは
 各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

基本情報

ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源
太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は
 焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用
○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において
 長年実績を積んだ長尺ヒータは
 各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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用途/実績例 【用途】
○太陽電池製造焼成炉
○CVD装置
○スパッタリング装置

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