最終更新日:
2018-08-09 15:12:16.0
2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。
株式会社エナテックのCZウェーハ 成膜加工は、膜種により2インチから450ｍｍウェーハへの成膜が可能です。
酸化膜系：熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG、BSG、LP-CVD、PE-CVD
窒化膜系： HCD-SiN、DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN 、LP-CVD、PE-CVD
金属膜系： TaN、Ta、Cu、Al、AlN、Al-Si、Al-Si-Cu、Ni、W、W-Si-Cu
その他 Poly-Si、a-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系）、グラフェン膜、グラファイト
＊SiO2,SiN,SiONなど膜種により1枚からでも対応が可能です。
＊Suputter成膜にてTi,Cu,Cr,Niなど対応可能です。
＊レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ～12インチまで対応可能です。
＊テストパターン付ウェーハ（6インチから12インチ）も仕様により一貫で対応致します。
＊レチクルご支給による、露光/エッチングも承ります。（8インチと12インチ）
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基本情報
【特徴】
○膜種により2インチから４５０ｍｍウェーハへの成膜が可能
○テストパターン付ウェーハ（6インチから12インチ）に対応
○レチクルご支給による、露光/エッチングも対応（8インチと12インチ）
○レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ～12インチまで対応可能
○バックグラインダー：直径5インチ～12インチ
○ダイシング：直径5インチ～12インチ
【12インチ 対応可能膜種】
○酸化膜系：熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG
○窒化膜系：DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN
○金属膜系：TaN、Ta、Cu、Al、Al-Si、Al-SiーCu、Ni、W、W-Si-Cu
○その他：Poｌｙ-Si、A-Si、SiC、Low-ｋ（SiOC系、有機化学系）
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