SOSウェーハはサファイアのR面の基板上にシリコンをエピタキシャル成長させたウェーハです。
圧力センサーなど様々なデバイスに使用されています。また放射線に対する耐性が高いのが特徴です。
3インチ(76mm)、4インチ(100mm)、6インチ(150mm)のSOSウェーハをご紹介可能です。仕様によりますが8インチも対応可能な場合がありますので是非お問い合わせください。
エピ層のドーパントはN型はPhosphorous、P型は Boronになります。
少量から対応可能です。
基本情報
標準的な主な仕様は下記のようになります。
直径:150mm
エピ厚:0.3um+/-10%
面内均一性 um (%):0.05um(16.7%)
エピ抵抗:>30ohm cm
UVR:<1.0
直径:100mm
エピ厚:0.3um+/-10%
面内均一性 um (%):0.05um(16.7%)
エピ抵抗:>30、5-30、2.5-10 ohm cm
UVR:<1.0
直径:100mm
エピ厚:0.6um+/-10%
面内均一性 um (%):0.09um(15%)
エピ抵抗:>30、5-30、2.5-10 ohm cm
UVR:<0.75
主な仕様は上記になりますがご希望の仕様がある場合はお問い合わせください。
価格情報 | 直径、仕様、数量によって変わりますのでお問い合わせ下さい。 |
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納期 |
お問い合わせください
※ 製品により短納期が可能です。 |
用途/実績例 | 圧力センサー等に様々なデバイスに使用されています。 |
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