最終更新日:
2020-03-26 14:54:28.0
3インチ～12インチまで少量対応が可能です。 仕様により高抵抗基板・高抵抗活性層でのSOIウェーハも対応可能！
CZシリコンを使用したSOI以外にも、基板・デバイス層とも高抵抗FZシリコンを使用したSOIウェーハも対応可能です。
直径：3インチ～12インチ
SOI層：2－200um程度（抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能）
SiO2(酸化膜）層：0.5－2um程度(0.1-10umも対応可能）
支持基板：300-725um程度（直径によりますが抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能）
＊仕様によりますが新規対応は10枚程度から対応可能です。
＊ウェーハを御支給いただきSOIウェーハへ加工することも可能です。
エナテックはシリコンウェーハ関連品を多数取り扱っており、お客様の御要望に迅速、的確に対応いたします。半導体及び太陽電池製造メーカー等への評価用テストウェーハ・成膜ウェーハ販売(及び再生加工等の受託加工）を主とし、ダミーウェーハの分野においても、国内にSiの選別工程の倉庫を2箇所有し、お客様のニーズにお答えすべく様々な種類のウェーハをご紹介させて頂いております。
詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報
【SOI特徴】
○3インチ～12インチ対応可能
○少量対応可能
○CZ、FZ対応可能
【エナテック取扱製品】
○CZウェーハ
→国内外1"～450mm(プライム/テスト・モニター/ダミーウェハ）のウェーハ取扱
○FZウェーハ(高抵抗シリコンウェーハ）
→2"～8"(プライム/テスト）の紹介が可能
○各種加工
→成膜加工・シリコン各種加工品（特殊加工・特殊厚み）も対応可能
○その他
→シリコンウェーハの他、化合物半導体、ウェーハ用ケースなど
○LEDライト
→御社のご使用環境に応じて提案可能
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