最終更新日:
2021-05-06 12:03:26.0
1インチ以下～４５０ｍｍまで提供が可能です。各種成膜加工、ＦＺウェーハやサファイア、ゲルマニウム、化合物半導体も対応可能。
弊社では、半導体製造装置テスト用のモニターウェーハ・ダミーウェーハ、太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ・ＳＯＩウェーハ・拡散ウェーハなどを取り扱っております。
お客様の用途に合わせて適したウェーハをご紹介させていただきます。
CZウェーハは直径1インチ以下から450mmまでご提供が可能です。
また貴社でお持ちのウェーハにＥＰＩ成膜を行ったり、SOIウェーハへの加工なども対応可能です。
ＣＺウェーハ以外にも高抵抗ＦＺウェーハやサファイア、ゲルマニウム、化合物半導体、多結晶シリコンなども取り扱っております。
詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報
【特徴】
○1インチ以下から450mmまで提供可能
○各種成膜加工が可能
○パーティクルグレード・モニターグレード等用途に合わせて紹介可能
○ＥＰＩ受託加工
〇FZウェーハ
直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗ウェーハを取り扱っております。
〇ＳＯＩウェーハ
CZ・FZウェーハを使用した新規作成での対応も可能です。
新規作成の場合,最小枚数は10枚程度からのご提供になります。
直径：3inch-12inch
SOI層：2-200um程度（抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能）
SiO2(酸化膜）層：50nm-2um程度(0.1-10umも対応可能）
支持基板：300-725um程度（抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能）
数量：在庫品の場合は数枚程度から対応可能
＊お手持ちの基板をご支給いただきSOIウェーハに加工することも可能です。
〇拡散ウェーハなども対応可能
○半導体製造装置テスト用：モニターウェーハ・ダミーウェーハ
○太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ
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