最終更新日:
2022-01-31 16:37:53.0
Ti膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とTiシード層エッチング用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
・ Cu/TiやW/Tiなどの積層膜に適しています。
キーワード:ウェットエッチング、チタン
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林純薬工業株式会社 電子材料部