最終更新日:
2022-01-31 16:36:36.0
Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 平滑なエッチング面の形成が可能です。
・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。
・ エッチング液の劣化が少ないです。
・ 前処理液として、Pure Etch ZE series( Alダメージレス絶縁膜エッチング液)の使用を推奨します。
キーワード:ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング
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林純薬工業株式会社 電子材料部