最終更新日:
2022-01-31 11:41:29.0
レジストや金属膜(Au、Crなど)によるマスクを腐食することなく、水晶を従来品より平坦な底面形状でエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・断面形状のテーパー角の角度差を従来品より低減可能です。
・エッチング底面を従来品より平坦にエッチング可能です。
・厚みの均一性が良好です。
キーワード:ウェットエッチング、水晶
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林純薬工業株式会社 電子材料部