最終更新日:
2022-01-31 16:39:54.0
TiW膜を良好にエッチングします。成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、詳しくはお問い合わせください。
本製品の特長は以下のとおりです。
・良好な順テーパーを形成します。
・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
・エッチング後の残渣がありません。
キーワード:ウェットエッチング、チタンタングステン
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林純薬工業株式会社 電子材料部