最終更新日:
2022-01-31 16:37:13.0
Si膜を良好に等方性エッチングします。等方性エッチング液標準品のほか、Si基板の薄化に最適な薄化用エッチング液もあります。
本製品の特長は以下のとおりです。
・低温、短時間での処理が可能です。
・エッチング後の表面は鏡面です。
キーワード:ウェットエッチング、シリコン等方性エッチング、シリコン基板薄化
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林純薬工業株式会社 電子材料部