最終更新日:
2022-01-31 16:35:34.0
PZT(lead zirconate titanate,チタン酸ジルコン酸鉛)膜を良好にエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・少ないサイドエッチ量で、残渣無くエッチングします。
・さまざまな成膜方法のPZT膜に対応しています。(ゾルゲル法、スパッタ法、その他成膜法)
・Dip、Sprayなどのさまざまな処理方法でエッチング可能です。
・バルク品のエッチングにも対応しています。
・毒物・劇物非該当品も提供可能です。
キーワード:ウェットエッチング、チタン酸ジルコン酸鉛
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林純薬工業株式会社 電子材料部