最終更新日:
2022-01-31 11:56:46.0
AlまたはAl合金膜を所望のテーパー角でエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ 所望のテーパー形状(テーパー角)を形成します。
・ Al、Al合金膜を良好にエッチングします。
・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
キーワード:ウェットエッチング、アルミニウム
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林純薬工業株式会社 電子材料部