株式会社アイテス

TOF-SIMSによる表面分析

最終更新日: 2019-11-07 14:50:23.0
TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。

■TOF-SIMS 3つの分析モード
・高分解能質量スペクトル
・深さ方向分析
・表面の面分析

基本情報

・TOF-SIMSはパルス状の一次イオンを照射し
 励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。
・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり
 質量の分離が出来ます。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・緑顔料中のフタロシアニングリーンの分子構造
・薄膜a-Si太陽電池の深さ方向分析
・Siウエハ表面汚染の面分析

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