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マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』＋リードアウトユニット『0254』*RoHS指令準拠製品*

■ マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』
1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用…

2024-06-12 00:00:00.0製品ニュース NEW

触媒研究において高精度の配合を可能にするマスフローコントローラ

ここで取り上げる触媒の研究例はハーバー・ボッシュ法であり、肥料用のアンモニアを工業規模で生産するものです。 ハーバー・ボッシュ法とは、高温高圧下で金属触媒を使って窒素と水素を反応させてアンモニアを生産します。触媒の研究は常に進歩しており、現在ではさまざまな触媒が見つかっています。 ハーバー・ボッシュ…

2024-06-05 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64

『厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール』

屋内や屋外を問わず、粉塵の雰囲気がある設置環境や水を扱うような…

2024-05-29 00:00:00.0製品ニュース

サーマルマスフローコントローラーSLA5850 KHK認証品アップグレードのお知らせ(2024.5)

近年、高圧ガスを用いたプロセスが盛んになってきており、マスフローコントローラー・メーターの高圧ガス保安法対応に対するニーズが高まってまいりました。当社では2018年以降サーマルマスフローコントローラー（SLA5850）の高圧ガス設備試験(KHK認証)合格品を化学・石油化学業界を中心にご提供させて頂き…

2024-05-23 00:00:00.0製品ニュース

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製…

2024-05-22 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』

半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーショ…

2024-05-15 00:00:00.0製品ニュース

【パネル資料】スケールアップとオートメーション化に貢献

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に
合わせてご紹介しましたパネル資料です。

■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応
■ 証明書と認証
■ アプリケーション

こちらよりご覧ください。
https://www…

2024-05-08 00:00:00.0製品ニュース

【パネル資料】新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー)

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に
合わせてご紹介しましたパネル資料です。

■ 新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー)

こちらよりご覧ください。
https://www.ipros.jp/catalog/deta…

2024-05-08 00:00:00.0製品ニュース

薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像
できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した
のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。

【薄膜技術　ご利用用途】
・マイクロエレクトロニクス
・ガラスの反射防止膜
・医療機器…

2024-04-24 00:00:00.0製品ニュース

薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像
できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した
のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。

【薄膜技術　ご利用用途】
・マイクロエレクトロニクス
・ガラスの反射防止膜
・医療機器…

2024-04-17 00:00:00.0製品ニュース

薄膜技術の基礎知識『薄膜技術とは？』

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、
プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には
想像できなかったような機能を備えています。

このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で
利用されている薄膜…

2024-04-10 00:00:00.0製品ニュース

ISO/IEC 17025認証が計測の不確かさを "より小さく" する方法

バイオテクノロジーなどの業界では、流量制御の校正精度を保証するために認証を利用しています。
流体の流れを測定し制御する機器は、正確な測定と制御を保証するために、初期製造時に校正し、その後定期的に再校正をする必要があります。ブルックスインスツルメントのような計測器メーカーにとって、高精度な計測システ…

2024-04-03 00:00:00.0製品ニュース

コリオリ式流量コントローラによる高信頼性・高精度な超臨界二酸化炭素の注入

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。HME プロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他…

2024-03-27 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』

『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』

超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI（圧力変動耐性）を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧力の変動によるプロセスガス流量への影響を大幅に削減します。GF125に標準で搭載されているMulti…

2024-03-21 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】金属管面積式流量計『MT3809Gシリーズ』

モデル 3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G

『幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応』

屋内や屋外を問わず、過酷なご使用環境下でも設置可能な構造：高圧条件、低温や高温の流体、遠隔監視のご用途には「MT3809シリーズ金属管面積式流量計…

2024-03-13 00:00:00.0製品ニュース

★改訂★カタログ『GP200シリーズ』圧力ベースガスマスフローコントローラ

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。

Brooksは世…

2024-03-06 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』 #FC EXPO出展製品

モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863

『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』

そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力…

2024-02-28 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』 #FC EXPO出展製品

モデル GF40

『デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応します』

1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ…

2024-02-28 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】コリオリ式マスフローコントローラ/メータ『Quantimシリーズ』#FC EXPO出展製品

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！
幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行します！

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプや…

2024-02-28 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズマスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プ…

2024-01-24 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

『最高の性能を最大限に引き出す』

半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。

GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスで…

2024-01-17 00:00:00.0製品ニュース

★短納期対応品★「マスフローコントローラ/メータ」#GF40 ・「サーマルマスフローコントローラ/メータ」#SLA5800

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフローコントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールは専用のソフトウェアであるブルックスエキスパートサポートツール(BEST)を使用することで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。

SLA580…

2023-12-20 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】エラストマシールマスフローメータ『5700シリーズ』

モデル 5700

『ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定』

温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー…

2023-12-06 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】ガラス管面積式流量計『GT1600シリーズ』

GT1000、GT1300、Full-View(R) モデルの後継機種

『精度要件を満たすために作られたシンプル且つ堅牢な設計』

プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス…

2023-11-28 00:00:00.0製品ニュース

【製品情報】蒸気供給モジュール『VDM300』

モデル VDM300

『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』

蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機…

2023-10-25 00:00:00.0製品ニュース

チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されるこ…

2023-10-11 00:00:00.0製品ニュース

【長期安定性に優れた流量・圧力計測機器】二次電池材料・バイオ・表面処理・EPC業界で実績

二次電池材料、バイオ、表面処理の製造工程や各種評価装置、EPC業界などで使用される流量・圧力測定機器は、用途に適した機能や精度を満たしていることはもちろん、安心して長期間お使いいただける耐久性も重要です。

ITWジャパンでは、気体用のマスフローメータ/コントローラやプレッシャーコントローラ、ト…

2023-06-08 00:00:00.0製品ニュース

新製品：MEMSピラニ―真空計VersaTorrシリーズのご紹介

新製品のピラニー真空計VersaTorrシリーズは、ダイヤフラム式とMEMS
ピラニ―式のデュアルセンサー方式のBVT100シリーズと、キャパシタンス
マノメーターを融合してよりワイドレンジの測定を可能にしたトリプル
センサーのBVT200シリーズで製品展開しています。

新開発のMEMS…

2023-05-25 00:00:00.0製品ニュース

Multifloマスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー
コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを
MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること
で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種…

2023-03-22 00:00:00.0製品ニュース

【アプリケーションノート】コリオリ式流量コントローラによる高信頼性・高精度な超臨界二酸化炭素の注入

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。

HMEプロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよび…

2022-11-22 00:00:00.0製品ニュース

MultiFlo(TM)コンフィギュレータで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能『GF40シリーズ』Multifloマスフローコントローラ/メータ

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー
コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを
MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること
で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種…

2022-10-27 00:00:00.0製品ニュース

『Legacy』マスフロ― サポートのご提案

今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の
修理や代替品の選定で、お困りではないですか？

この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で稼働しております。それらマスフロ―を取り扱っていたマスフローメーカーを、現在ブルックスインスツルメン…

2022-08-25 00:00:00.0製品ニュース

【バイオ医薬向け】マスフローコントローラのご紹介

抗体医薬品やワクチンを含む、バイオ医薬品の原薬製造工程において、ウイルスや細胞などを培養しスケールアップすることが目的となり、対象のウイルス・細胞などの生物が生きやすい環境を整えることが必要になります。そして、pH値や溶存酸素濃度をモニタしながら、空気、酸素、窒素、二酸化炭素の流量をMFCでコントロ…

2021-08-02 00:00:00.0製品ニュース

SLA5800シリーズ国内防爆合格のお知らせ

SLA5800シリーズが防爆構造電気機械器具型式検定
（国内防爆: DEK20.0062X）に合格いたしました。

対象の製品は、以下の通りです。
● マスフローコントローラー SLA585xシリーズ
● マスフローメーター SLA586xシリーズ
● プレッシャーコントローラー …

2021-05-26 00:00:00.0製品ニュース

【新製品】最高の性能を最大限に引き出す「GP200シリーズ」のご紹介

最先端半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。

＊ 1センサーで差圧を測定する…

2021-04-21 00:00:00.0製品ニュース

医療機器での流量制御ソリューション

抗体医薬をはじめとするバイオ医薬品製造におけるガス流量制御・マスフローコントローラの重要性は度々ご紹介しております。今回は医療機器におけるマスフローコントローラ／流量計のアプリケーションをご紹介いたします。

呼吸器関連の医療用具製造/機器制御において流量計やマスフローコントローラをご利用いた…

2020-12-17 00:00:00.0製品ニュース

コロナウイルスと戦う医療機器関連のお客様にマスフローコントローラを迅速提供

BROOKSは、コロナウイルスと戦う医療機器関連のお客様が必要とする装置の一つであるマスフローコントローラを迅速提供することに誇りを懸けて対応しております。

現在のような危機的状況下では、私たちは「何が重要であるか」に焦点を合わせ続ける必要があります。

ブルックスインスツルメントと例えば…

2020-06-23 00:00:00.0製品ニュース

サーマルマスフローの測定原理動画のご紹介

サーマルマスフローをご使用いただくに当たり、その測定原理をご理解いただくことは非常に重要です。高精度かつ安定したプロセス条件の設定はもちろんの事、トラブルの解決や早期発見に非常に有益です。

センサーはチューブ中央に配置されたヒータHとその両側に等距離に配置された温度センサーT1とT2で構成され…

2019-12-18 00:00:00.0製品ニュース

『レガシー（Legacy）』と呼ばれる古いマスフロ― サポートのご提案

ブルックスインスツルメントは、右の「Brooks MFCの系譜図」中の、タイランジェネラル（Tylan General）、マイクロリス（Mykrolis）、インテグリス（Entegris）、ユニット（UNIT）、キネティックス（Kinetics）、セレリティー（Celerity）等、様々なメーカーが…

2019-11-08 00:00:00.0製品ニュース

バイオ医薬品製造におけるMFC利用SLAバイオプロセス向けMFC／プラント設備の近代化に向けたプロフィネット(PROFINET)

1:250のターンダウンによりフルスケールの0.4%まで流量コントロールできるマスフローコントローラ(MFC)の導入により、従来2台必要であったMFCが1台で完結するシステム構築が可能になります。

EtherNet/IP およびPROFINET プロトコルを搭載したSLAシリーズは、高度な診断…

2019-10-25 00:00:00.0製品ニュース

SLA5800/SLAMfシリーズ Biotechオプションのメリット

2019年7月よりBrooks汎用マスフローコントローラ製品群に、バイオプロセス専用マスフローコントローラが加わりました。今回は本製品と特徴的なメリットをご紹介いたします。

１．ガス種毎に必要であったMFC予備品が1台で賄えます。
２．１：２５０の制御レンジにより高精度・高精密な流量コントロ…

2019-09-23 00:00:00.0製品ニュース

【新製品】SLA5800/SLAMfシリーズ Biotechオプションのご紹介

2019年7月よりBrooks汎用マスフローコントローラ製品群に、バイオプロセス専用マスフローコントローラが加わりました。

バイオプロセス専用に設計及び製造されたマスフローコントローラ
・大多数の一般産業（バイオプロセス含む）向けに実績がある
　SLAシリーズをベースとした特別製品
・お…

2019-08-20 00:00:00.0製品ニュース

サポートソフトBEST5.4.0.0リリース～サポート可能な機器のバリエーションが広がりました

最新のサポートソフトウェアはBEST(Brooks Enhanced Support Tool)で、この度最新バージョンの5.4.0.0をリリースいたしました。

基準器との流量の合わせ込み（校正）などの一部の機能のライセンスと、接続ケーブルは有償にてご提供しております。まだブルックスのサポー…

2019-07-16 00:00:00.0製品ニュース

【新製品】GT1600シリーズガラス管可変面積流量計のご紹介

GT1600シリーズガラス管面積流量計は、プロセス流量確認が重要な工程において低流量および高流量のガスおよび液体アプリケーションにおいて、長期間のご使用に耐える性能と頑丈な筐体と設計を備えた新しいメーターファミリーです。

多用途でコストパフォーマンスに優れた流量計は、中程度の計量精度が要求され…

2019-05-13 00:00:00.0製品ニュース

VDM300 脱イオン水蒸気デリバリーモジュールをリリース

先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。

VDM300の特長
１．流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気)
２．優れた流量精度を実現する直…

2019-04-10 00:00:00.0製品ニュース

バイオ医薬品製造におけるMFC利用２

EtherNer/IPモデルでは、デスクトップの研究室レベル規模で組んだシステムを製造レベルへスケールアップする際、単体制御からレシピコントロールまでの仕様変更が、比較的容易に実施することが出来ます。
SLA5800シリーズは、3cc/毎分～最大2500L/毎分の流量までラインアップされており、レ…

2019-03-12 00:00:00.0製品ニュース

バイオ医薬品製造におけるMFC利用

抗体医薬品、ワクチンを含むバイオ医薬品の原薬製造工程では、ウイルスや細胞など生物を培養しスケールアップすることが目的となり、対象のウイルス・細胞などの生物が生きやすい環境を整えることが必要になります。研究開発部門は、細胞やウイルスごとに最適な環境を日々模索されていますが、空気、酸素、窒素、二酸化…

2019-02-12 00:00:00.0製品ニュース

既存設備をスモールIoT化しませんか。なにが出来るのか？なにが必要か？

IoTという言葉を聞いて、「なにが出来るのか？」「なにが必要か？」という疑問をお持ちの方も多いのではないでしょうか。
デジタル通信により、従来のアナログ制御では知り得なかった流量センサー、バルブ、基板、異常のモニターなど様々な情報を得ることが出来ます。例えば、バルブ開度をモニターすることにより設備…

2019-01-20 00:00:00.0製品ニュース