リアルRGB600ppiレベルの高精細化を実現
有機ELディスプレイパネル蒸着用高精細ハイブリッドマスク（以下蒸着マスク）は、有機ELディスプレイ製作工程の有機材料RGB3色の塗り分けに使用されるマスクです。
この蒸着マスクは有機EL製造におけるキーパーツで、より高精度（位置精度、精細度）な蒸着マスクが求められ、マクセルではEF2技術によるマスク形成により、リアルRGB600ppiレベルの高精細化を実現しました。
また、インバー材フレーム（保持枠部）と高精細マスク部（パターン部）が一体化したハイブリッド構造によりミクロン単位での位置精度の貼り合わせが不要で、工数削減を可能にします。
■最大マスク外形サイズ：770x500ミリメートル（有効サイズ：650x420ミリメートル）
■材質：パターン部：Ni、保持枠部：インバー材（36Ni）
■板厚（例）：パターン部：10マイクロメートル、保持枠部：1.0ミリメートル
■開口精度/中心からの座標位置精度：±2マイクロメートル/±5マイクロメートル
■材質：パターン部：Ni、保持枠部：インバー材（36Ni）
■板厚（例）：パターン部：10マイクロメートル、保持枠部：1.0ミリメートル
■開口精度/中心からの座標位置精度：±2マイクロメートル/±5マイクロメートル
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| 用途／実績例 | 有機ELディスプレイパネル蒸着用 |
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