【加工法・処理法】
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◆FIB法(集束イオンビーム)
◆SSDP用加工(基板側からの測定用加工)
◆IP法(Arイオン研磨加工)
◆雰囲気制御下での処理
◆クライオ加工
◆FIB法(集束イオンビーム)
◆SSDP用加工(基板側からの測定用加工)
◆IP法(Arイオン研磨加工)
◆雰囲気制御下での処理
◆クライオ加工
Arイオンミリング加工
機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です
最終更新日:
2016-02-18 11:32:02.0
[FIB]集束イオンビーム加工
FIBは、数nm~数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走査させることにより特定領域を削ったり成膜することが可能です
最終更新日:
2018-07-20 17:00:20.0
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