一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

[TDS]昇温脱離ガス分析法

最終更新日: 2023-04-14 12:08:55.0
真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水素や水も感度よく確認

TDSは、真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法です。
TDSスペクトルは、横軸に温度、縦軸にイオン強度を表します。これにより、放出されるガスの脱離量の比較、脱離温度の比較が可能です。また、真空雰囲気下であることから水素や水も感度よく分析することができます。

・試料から脱離するガス及び圧力と、発生温度の関係を知ることが可能
・試料のみを加熱できるため、バックグランドが低く、水素、水、酸素、窒素などの低質量分子の高感度分析が可能
・試料からの発生ガスの成分推定、及び定量(分子の数)分析が可能

基本情報

■加熱部
試料をステージ上に置き、ステージ下部から赤外線を照射することにより試料を加熱します。
温度制御は、ステージ側にある熱電対にて行ないます。試料上部側の熱電対により試料表面側の温度を測定することも可能です。

■質量分析部
加熱により発生したガスは加速した電子の衝突よりプラスイオン化され、質量電荷比に応じて分離されます。

価格情報 測定対象によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・層間絶縁膜の水分管理
・H2の脱離
・ドライエッチングの残渣確認
・ウエハ表面の汚染評価  等

詳細情報

打ち合わせ.jpg
まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
セミナー.jpg
訪問セミナー実施します
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。

◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説

03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【測定法】質量分析法の製品・サービス一覧(660件)を見る