一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】セラミックスの変色原因評価

最終更新日: 2023-12-21 10:34:30.0
TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能

セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。不純物や付着物により生じるセラミックスの変色評価には、着目箇所について有機物・無機物を問わず微量成分のイメージング分析が可能なTOF-SIMS分析が有効です。
本資料ではAl酸化物のセラミックス変色部分をTOF-SIMSで分析し、イオンイメージとラインプロファイルで変色原因を示した事例を紹介します。
測定法:TOF-SIMS
製品分野:製造装置・部品
分析目的:組成分布評価

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用途/実績例 製造装置・部品の分析です。

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