最終更新日:
2023-03-28 15:08:36.0
薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能
CIGS薄膜太陽電池の高性能化を目指した開発において、光吸収層の成膜プロセスの条件最適化が必要とされており、CIGS組成の組成分布の制御が重要になっています。
成膜したCIGS薄膜の組成について、ICP-MSで高精度に定量した事例、SIMSで深さ方向に濃度分布を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。
測定法:SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング
製品分野:太陽電池
分析目的:組成評価・同定・組成分布評価・膜厚評価・製品調査
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