『S-TORRV02シリーズ』は、本体径φ35、標準面間70.5mmという
非常に小型の圧力調整器です。
接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、
非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、
出荷検査を全数に実施しています。
腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した
「SHシリーズ」をご用意しています。
【特長】
■小型機種
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには
メタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■小型のアウトレットパネルを設計可能
■装置への組み込みにも適している
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【その他の特長】
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■本体径φ35、標準面間70.5mmという非常に小型の圧力調整器
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
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日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部