最終更新日:
2022-01-28 20:26:20.0
電解研磨仕様品の製作も可能!"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器
『TORR-50/80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に
実施している高純度ガス用圧力調整器です。
組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に
フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする
配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。
【特長】
■一次側低圧用中流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【ラインアップ】
■TORR-50シリーズ
■TORR-80シリーズ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、 流量を必要とする配管で使用する調整器など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部