日酸TANAKA株式会社

産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-50/80シリーズ』

最終更新日: 2022-01-28 20:26:20.0
電解研磨仕様品の製作も可能!"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器

『TORR-50/80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に
実施している高純度ガス用圧力調整器です。

組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に
フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。

一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする
配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。

【特長】
■一次側低圧用中流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【ラインアップ】
■TORR-50シリーズ
■TORR-80シリーズ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、
 流量を必要とする配管で使用する調整器など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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