日酸TANAKA株式会社

産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』

最終更新日: 2022-01-28 20:26:20.0
出荷検査を全数に実施!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減!

『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている
"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。

一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる
ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を
全数に実施しています。

組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを
内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。

【特長】
■一次側高圧用大流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■「TORR-2300」よりも流量の求められるガス供給設備などで使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【性能】
■入口側最高使用圧:15MPa
■出口側最高使用圧:1.0MPa
■最大流量:180m3/h(nor)(P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS)
■使用温度:-5~40℃
■重量:4.9kg
■出入口ポート口径:3/8"
■外部リーク量:1.3×10^-6Pa・m3/sec以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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