『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや
室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける
高純度ガス用圧力調整器です。
電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の
クリーンルームで行っています。
TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用
圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。
【特長】
■一次側低圧用標準機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】
■入口側最高使用圧:5MPa
■出口側最高使用圧:1.0MPa
■最大流量:300L/min(nor)(P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS)
■使用温度:-5~40℃
■重量:1.1kg
■内蔵フィルター濾過度:20μm
■出入口ポート口径:1/4"
■外部リーク量
・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下(ネジ式接続)
・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下(溶接接続)
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部