最終更新日:
2022-01-28 20:26:20.0
半導体ガス用圧力調整器の代名詞！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施！
『TORR-800シリーズ』は、TORRシリーズで最大級のサイズの圧力調整器です。
通常の圧力調整器と同じ操作感で使用可能な調圧ハンドル式の
「TORR-800Gシリーズ」と、より大きな流量が供給可能なパイロット式の
「TORR-800Mシリーズ」が選択可能。
また、「TORR-800Mシリーズ」よりも更に大流量の供給が可能な
「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を必要とされる場合は
お問い合わせください。
【特長】
■一次側低圧用大流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■TORRシリーズで最大級のサイズ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】
■入口側最高使用圧：1.0MPa
■出口側最高使用圧：0.6MPa
■最大流量
・800G：280m3/h（nor）（P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS）
・800M：500m3/h（nor）（P1=0.9MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS）
■使用温度：-5～40℃
■重量：32kg（800Gシリーズ） / 38kg(800Mシリーズ)
■外部リーク量：1.3×10^-4Pa・m3/sec以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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