最終更新日:
2022-01-28 20:26:20.0
一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器
『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている
"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。
一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。
組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。
一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に
広くご使用いただいております。
【特長】
■一次側高圧用標準機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】
■入口側最高使用圧：15MPa
■出口側最高使用圧：1.0MPa
■最大流量：550L/min（nor)（P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS）
■使用温度：-5～40℃
■重量：1.3kg（4ポート)
■内蔵フィルター濾過度：5μm
■出入口ポート口径：1/4"
■外部リーク量
・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下（ネジ式接続)
・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下（溶接接続)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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