『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、
電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。
TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用
圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、
出荷検査を全数に実施。
一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする
配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。
【特長】
■一次側低圧用中流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】
■入口側最高使用圧:2.0MPa
■出口側最高使用圧:0.6MPa
■最大流量:2、400L/min(nor)(P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS)
■使用温度:-5~40℃
■重量:3.7kg
■出入口ポート口径:1/2"
■外部リーク量:1.3×10^-8Pa・m3/sec以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部