『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、
内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。
本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール
構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して
お使いいただけます。
一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い
圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。
【特長】
■一次側低圧用標準機種
■TORR調整器をベースに開発
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【その他の特長】
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い
圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広く使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
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日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部