日酸TANAKA株式会社

産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』

最終更新日: 2022-01-28 20:26:20.0
出荷検査を全数に実施!タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器のご紹介

『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの
供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。

接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、
非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から
スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。

加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても
対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。

【特長】
■液化ガス用タイドダイヤフラム式機種
■TORR調整器をベースに開発
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【その他の特長】
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの供給に強い構造
■接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減
■加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても対応可能
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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納期 お問い合わせください
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