油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】
○広領域排気
低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
○大流量排気
大量のガスを流せます。
○優れた耐久性
不意の大気導入に強い構造になっています。
○長期間使用可能
適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
【製品の特長】
○腐食性ガスの排気に強いケミカル形
○不意の大気突入に強い構造
○外部からの衝撃に強い
○シリアル通信可能
○安全規格認定取得 NRTL / SEMI-S2
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
○腐食性ガスの排気に強いケミカル形
○不意の大気突入に強い構造
○外部からの衝撃に強い
○シリアル通信可能
○安全規格認定取得 NRTL / SEMI-S2
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| 価格情報 |
****** お気軽にお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | TG3213 |
| 用途／実績例 |
半導体製造 電子銃排気、イオン源排気 FPD製造 表面処理、表面改質 各種電子部品製造 管球製造、光学部品製造 加速器、放射線施設、核融合研究 熱処理 研究開発 その他詳細はお問い合わせください |
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株式会社大阪真空機器製作所
