株式会社大阪真空機器製作所

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ

最終更新日: 2022-11-24 16:28:43.0

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新製品TGkine4200M発売!!余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上!

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ 新製品TGkine4200M 発売!!このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。
他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。
9月に開催予定の真空展2015へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。
TGkine4200Mを加えたTGkine3シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。
詳しくは、当社HPにてご確認ください。(当社HPのリンク)
この機会に、是非当社ブースへお越しください。

コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。


【特長】
■自由な設計でコストダウン可能!
■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善!
■IP54(防塵・防滴)標準対応で、厳しい環境下でも使用可能!

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

【特徴】
○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応
○広い真空領域で大流量排気が可能
○優れた到達圧力、高圧縮比
○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる
○ロータ回転数を任意に設定可能(110~450rps)
○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要
○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計
○出力ケーブルや別置きコントローラが無い
→ケーブルダクトやコントローララックが不要
○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単
○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献
○省スペース化、アクセス性の向上
→各種アクセス部(スイッチ、LED、ケーブル/配管接続部など)を
 前面に集約し、作業効率改善
○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献
○メンテナンス時のアクセスも容易
○IP54(防塵・防滴)標準対応で、厳しい環境下でも使用できる

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報 お問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
※ お問い合わせ下さい。
用途/実績例 【用途】
○太陽電池製造装置
○ガラス/レンズ加工
○フィルム加工
○ LCD製造装置
○半導体製造装置
○加速器/宇宙環境試験装置

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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