設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。
また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
【特長】
■省電力設計
■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】
■多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT
■国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT
■国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・太陽電池製造装置 ・ガラス/レンズ等の光学部品加工 ・フィルム加工 ・加速器/宇宙環境試験装置 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社大阪真空機器製作所
