広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！
【製品の特長】
○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり)
○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減
○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います
○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり)
○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減
○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います
○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能
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株式会社大阪真空機器製作所
