低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
【製品の特長】
○取付姿勢自在
○急速起動・停止
○チューニングフリー
○回転数コントロール
○シリアル通信可能
○安全規格適合(NRTL/SEMI-S2/CE)
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
○取付姿勢自在
○急速起動・停止
○チューニングフリー
○回転数コントロール
○シリアル通信可能
○安全規格適合(NRTL/SEMI-S2/CE)
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価格情報 |
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納期 |
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型番・ブランド名 | TG900M |
用途/実績例 | 詳細はお問い合わせください |
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株式会社大阪真空機器製作所