多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介！
地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング
装置を納入した事例を紹介させていただきます。
今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード
ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および
PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。
スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、
それぞれのカソードにRF又はDC電圧を印加、または重畳して印加することも
可能です。
【事例概要】
■納入先：地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
■納入製品：MS-3C100L型
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【MS-3C100L ソフトウェア機能】
■製膜ログ機能
・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・
基板ホルダー回転速度の自動保存が可能
■製膜レシピ機能
・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・
スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能
・作成済みレシピの組み合わせが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■製膜ログ機能
・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・
基板ホルダー回転速度の自動保存が可能
■製膜レシピ機能
・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・
スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能
・作成済みレシピの組み合わせが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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関連ダウンロード
【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社大阪真空機器製作所
