独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温
■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！
■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
【製品の特長】
○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上
○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減
○排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上
○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減
○排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止
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株式会社大阪真空機器製作所
