取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
【製品の特長】
○取付姿勢自在
○省エネルギー
○急速ペント停止が可能
○大気突入に強い構造
○シリアル通信可能
○安全規格適合(NRTL/SEMI-S2/CE)
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
○取付姿勢自在
○省エネルギー
○急速ペント停止が可能
○大気突入に強い構造
○シリアル通信可能
○安全規格適合(NRTL/SEMI-S2/CE)
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価格情報 |
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型番・ブランド名 | TG350F |
用途/実績例 | 詳細はお問い合わせください |
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株式会社大阪真空機器製作所