超高真空仕様ターボ分子ポンプ
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
【製品の特長】
○水素圧縮比60,000を達成
○内部放出ガスを低減
○単独で、超高真空領域に近い到達圧力が得られます
○水素圧縮比60,000を達成
○内部放出ガスを低減
○単独で、超高真空領域に近い到達圧力が得られます
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ラインアップ
型番 | 概要 |
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TG900MU | |
TG1300MU |
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株式会社大阪真空機器製作所