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P-733.2/3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

最終更新日: 2024-10-10 13:54:55.0
高精度XY(Z)スキャナシリーズ(開口部付き)。高速かつ高精度のナノポジショニング/スキャニングシステムです。

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、
高速かつ高精度のナノポジショニング/スキャニングシステムです。

【特徴】
○ストローク:XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に~10μm
○静電容量センサーにより分解能~0.1nmを実現
○直動式の高速バージョン
○真空対応および非磁性バージョン
○パラレル制御によるダイナミクスの向上/多軸の精密制御
○パラレル計測によるアクティブ軌道制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

基本情報

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型番・ブランド名 P-733.2・P-733.3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ
用途/実績例 応用例
・画像処理/安定化
・走査型顕微鏡
・表面形状解析
・バイオテクノロジー
・半導体試験
・マスク/ウェハー位置決め
・マイクロマニピュレーション
・高平坦度/直進度のナノポジショニング

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