最終更新日:
2023-06-21 15:53:04.0
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度！
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、
サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意
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基本情報
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|---|---|
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| 型番・ブランド名 | P-620.Z－P-622.Z PIHera(TM)高精度ステージ |
| 用途／実績例 | 応用例 ・干渉計 ・顕微鏡検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術 |
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