株式会社三明

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ムラビューワー

最終更新日: 2023-06-14 10:05:28.0
ナノクラスの微細な変化も見逃さない!半自動で欠陥を判別して可視化することが可能

『ムラビューワーシリーズ』は検査の常識を変える
「見えない・見えにくい」欠陥を「くっきり・鮮やかに」に
確認できる新感覚のスコープです。

ガラス・水晶・サファイア等の表面に残るナノサイズの微細な
研磨痕・オレンジピール・スクラッチや内部にある微細な
脈理・結晶欠陥等も、目視による検査・評価が可能になり、表面粗さ
の管理・研磨条件の設定、蒸着後の歩留まりが確実に向上します。

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基本情報

・ムラビューワー2
【特長】
■反射体は表面欠陥、透過体は表面内部裏面欠陥の検査が可能
■人の裸眼では確認できないnano欠陥を広視野で可視化
■ズーム機能搭載(4倍比)
■複合立体画像処理+欠陥抽出処理で欠陥だけが立体的に浮き上がる
■目視検査装置 

・ムラビューワー2A-SS
【特長】
■人の裸眼では確認できない欠陥を可視化し、独自の特殊原理を使い
立体的に欠陥を浮き上げることで、精度よく欠陥検査を可能
■特殊光学部を分離して自動搬送系に組み込める分離型構造
■数値化処理を内蔵することで解析処理/完全自動化検査を実現
■クリーンルーム対応
■数値化検査装置

・ムラビューワー2 TiL
【特長】
■人の裸眼では確認できない欠陥を可視化し、ED原理を使って
 立体的に欠陥を浮き上げることで、精度よく欠陥検査を可能
■ムラビューワー2シリーズと自動タイリング機構の組み合わせで、
 サンプルサイズからΦ300mmまで観察視野拡大可能
■広視野でnano欠陥の数値化マッピングが可能
■数値化処理を内蔵することで解析処理/完全自動化検査を実現

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■可視化

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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