『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。
デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、
自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。
また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm
としております。
【仕様(抜粋)】
■ウェハサイズ:4in/6in/8in
■露光光源照度分布:±5%以内
■露光解像度
・ソフトコンタクト:L/S 3μm
・ハードコンタクト:L/S 1μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の仕様】
■アライメント精度
・Top-side:±2μm
・Bottom-side:±5μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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