当社が取り扱う『UVナノインプリントステッパー』をご紹介します。
大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。
また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構を
ご用意しております。
【特長】
■2~8インチウェハ対応
■デバイス製作に必要な高精度アライメント
■高精度な転写圧力制御
■加熱機構追加オプション
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
■型式:ImpFlex-Essential Stepper
■転写方式:UVナノインプリント
■適応ワーク:φ2~8インチ
■モールド:石英モールド、PDMSモールド
■レジスト塗布:スピンコータ又はインクジェットによる前処理
■アライメント精度:1μm(アライメントマークサイズによる)
■外形寸法:1800(H)×760(W)×1160(D)
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