当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を
ご紹介します。
シンプル構造で低価格を実現。
〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。
4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「ALA810」をご用意しています。
【特長】
■高い汎用性(〇型□型試料対応)
■信頼性の高い球面軸受 平行機構
■シンプル構造で低価格を実現
■Φ4in、Φ6in、Φ8in仕様
■CToC自動搬送
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
■露光光源:照度分布±5%以内
■露光解像度
・ソフトコンタクトL/S 3μm
・ハードコンタクトL/S 1μm
■アライメント精度
・Top-side ±1μm
・Bottom-side ±3μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■量産工程用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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